分子束外延（MBE）：打造原子级精准的 “半导体晶格工厂”
在半导体材料生长的 “原子舞台” 上，分子束外延（MBE）设备堪称 “纳米级建筑师”。它以每秒 0.1-1nm 的生长速率（相当于人类头发每秒生长速度的百万分之一），在晶圆表面堆砌出原子级平整的晶体薄膜，误差不超过单个原子直径（约 0.3nm）。这种技术尤其擅长制造异质结结构 —— 如 LED 芯片中的氮化镓 / 蓝宝石界面，或功率芯片的碳化硅外延层，其晶格失配度可控制在 0.1% 以下，从根本上提升器件的可靠性。
碳化硅（SiC）作为新一代功率半导体的核心材料，需在 1500℃以上高温环境中生长外延层。MBE 设备通过精确控制镓、碳等原子束的入射角度（误差＜0.5°）和流量（精度达 10^-6 mbar・L/s），可实现外延层厚度均匀性＜1%，掺杂浓度偏差＜5%。这对于制造耐压 1200V 以上的车用功率模块至关重要 —— 厚度仅 5μm 的外延层，需承受每平方厘米 10^6 安培的电流密度，稍有缺陷便会导致器件失效。
在氮化镓（GaN）射频器件领域，MBE 设备能生长出电子迁移率＞20,000 cm²/(V・s) 的高浓度二维电子气（2DEG）层，厚度仅 10nm。对比传统 MOCVD 技术，MBE 的原子级控制能力使薄膜缺陷密度降低 70%，器件的击穿电压从 100V 提升至 600V 以上，满足 5G 基站高功率输出需求。2023 年全球 GaN 功率器件市场规模达 15 亿美元，带动 MBE 设备需求年增 20%。
曾被德国 AIXTRON、美国 Veeco 垄断的 MBE 市场，正迎来中国厂商的突破。中电科二所研发的 6 英寸 MBE 设备，在氮化镓外延层的表面粗糙度（＜0.5nm）和掺杂均匀性（±3%）等指标上已接近国际一流水平，价格却仅为进口设备的 60%。随着国内第三代半导体产线加速投产，国产 MBE 设备在 2024 年的市场份额有望从 5% 提升至 15%，打破 “卡脖子” 僵局。
毅睿-芯壹方 离子束溅射沉积系统
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