蒸发镀膜机：柔性电子时代的 “超薄薄膜缔造者”

在柔性显示、可穿戴设备的微米级世界里，蒸发镀膜机是制备百纳米级有机发光层（如 OLED）和透明电极（如 ITO）的 “核心玩家”。它通过电阻加热或电子束轰击，将材料加热至 1500-2000℃蒸发成气相，再冷凝在晶圆或柔性基板上，形成厚度仅 50-200nm 的均匀薄膜，表面粗糙度＜5nm，相当于在乒乓球表面铺一层分子级平整的金箔。

在柔性 OLED 屏幕制造中，红、绿、蓝发光层的厚度需精确控制在 15-30nm，误差超过 1nm 便会导致色纯度偏差＞5%。蒸发镀膜机通过石英晶体振荡仪（精度达 0.1nm）实时监测沉积速率，配合真空度＜10^-5 Pa 的高洁净环境，可实现三层发光层的总厚度偏差＜2%，确保屏幕色域覆盖达 NTSC 100% 以上。2023 年全球柔性 OLED 设备市场中，蒸发镀膜机占比达 40%，市场规模超 30 亿美元。

毅睿科技-芯壹方 有机发光二极体(OLED)真空共蒸镀系统

在 MEMS 压力传感器中，蒸发镀膜机用于沉积 5-10μm 厚的金属应变层，其电阻温度系数需控制在 ±0.001/℃以内。通过优化蒸发源间距（50-100mm）和基板旋转速度（50-200rpm），可使薄膜的应力分布均匀性提升 30%，避免传感器在高低温环境（-40℃至 85℃）下出现零点漂移。这种技术已广泛应用于汽车胎压监测系统（TPMS），全球年需求量超 10 亿颗。

毅睿科技-芯壹方 快速升温炉、PECVD、太阳能电池测试仪器、压力传感器

针对柔性电子的多样化需求，北方华创研发的多功能蒸发镀膜机可兼容玻璃、PI 膜、金属箔等多种基板，支持最大 300mm 晶圆与 500mm×500mm 柔性基板的混合生产。其自主研发的电子束枪功率稳定性＜1%，蒸发速率波动＜0.5%，在 OLED 发光层沉积领域已进入京东方、华星光电供应链，打破日本真空、韩国 SFA 的垄断局面。厦门毅睿科技有限公司、厦门芯壹方科技有限公司联合台湾超高真空镀膜团队研发的复合系统，含化学气相沉积+电子枪+热蒸镀+手套箱系统，可依需求，多腔体连结传输设计。

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