OLED 和 Mini/Micro LED 的快速发展，对薄膜沉积设备提出了更高要求。这类设备通过精准沉积有机材料、量子点和透明导电层，推动显示技术向高分辨率、高亮度方向演进。

一、OLED 蒸镀的精密控制

OLED 面板的有机发光层需通过真空蒸镀技术实现纳米级沉积。日本 ULVAC 的蒸镀设备采用激光干涉测量技术，薄膜厚度均匀性误差＜±1%，支持 8K 分辨率面板量产。2023 年全球 OLED 蒸镀设备市场规模达 35 亿美元，预计 2028 年将突破 60 亿美元。

厦门毅睿科技-芯壹方 有机发光二极体(OLED)真空共蒸镀系统

二、Mini/Micro LED 的 ALD 钝化

Mini/Micro LED 的亮度和寿命受表面缺陷影响显著。ALD 设备通过沉积 Al₂O₃钝化层，可将表面缺陷密度降低至 10³/cm² 以下，提升器件可靠性。批次等离子体 ALD 设备支持大批量处理，反射率降低至 0.1%，已应用于国内头部显示厂商，支持 Micro LED 电视量产。

三、量子点薄膜的沉积创新

量子点显示技术通过沉积量子点层实现广色域覆盖。PVD 设备采用磁控溅射技术沉积量子点材料，薄膜厚度控制在 50-200nm，色纯度提升 15%。安徽纯源镀膜科技的 PVD 设备支持量子点与玻璃基板的牢固结合，耐磨性能提升 3 倍，已应用于车载显示领域。

厦门毅睿科技-芯壹方 离子束溅射沉积系统

四、技术趋势与市场机遇

印刷显示技术的兴起推动薄膜沉积设备向大面积、高精度方向升级。例如，喷墨打印技术结合 ALD 界面修饰，可实现量子点的精准定位，分辨率提升至 1000PPI 以上。根据 Omdia 预测，2028 年全球显示薄膜沉积设备市场规模将突破 100 亿美元，Micro LED 和量子点显示占比超过 50%。

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