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汽车电子：薄膜沉积设备的新增长极

新能源汽车的快速发展，推动薄膜沉积设备在功率器件、传感器和车载显示中广泛应用。这类设备通过精准沉积金属、介电和半导体薄膜，提升汽车电子的可靠性和性能。

SiC MOSFET 和 IGBT 的制造需在衬底上沉积多层薄膜。PVD 设备通过磁控溅射技术沉积金属电极，薄膜厚度均匀性误差＜±1%，支持电流密度提升至 100A/cm² 以上。2023 年全球汽车电子薄膜沉积设备市场规模达 25 亿美元，预计 2028 年将突破 60 亿美元。

MEMS 压力传感器和加速度计需通过薄膜沉积技术实现微型结构。ALD 设备通过原子层沉积 Al₂O₃钝化层，可将传感器噪声降低至 0.2μV/V，响应时间缩短至 1ms 以内。BENEQ 的 ALD 系统支持 3D 结构沉积，在 MEMS 麦克风中实现薄膜均匀性误差＜3%，已应用于特斯拉、比亚迪等车企供应链。

厦门毅睿科技-芯壹方高温炉、快速升温炉、PECVD、太阳能电池测试仪器

OLED 和 Micro LED 车载显示屏需通过真空蒸镀和 ALD 技术实现高亮度和高对比度。美能光伏的真空蒸镀设备支持 ITO 薄膜的高精度沉积，吸光度变化控制在 ±2% 以内，已应用于奔驰、宝马的高端车型。多片批次热式 ALD 设备支持车载显示屏的钝化层沉积，产能为同类竞品的 2-4 倍，助力国内厂商突破技术壁垒。

厦门毅睿科技-芯壹方有机发光二极体(OLED)真空共蒸镀系统

自动驾驶和车联网的发展推动汽车电子向高集成化、高可靠性方向升级。例如，激光雷达（LiDAR）的光学薄膜需通过 PVD 技术沉积高反射率涂层，反射率＞99%，耐候性达 10 年以上。根据 Yole 预测，2028 年全球汽车电子薄膜沉积设备市场规模将突破 100 亿美元，SiC 功率器件和激光雷达占比超过 50%。

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