在半导体成熟制程领域，低压化学气相沉积（LPCVD）设备以 “高均匀性 + 低成本” 成为量产首选。SEMI 数据显示，2023 年全球 LPCVD 设备市场规模达 22 亿美元，其中中国市场占比 35%，主要用于 28nm 及以上逻辑芯片、功率器件和 MEMS 传感器的薄膜沉积。
LPCVD 通过将反应气压控制在 10-100Pa（传统 CVD 为常压），实现薄膜沉积速率与均匀性的优化。以多晶硅沉积为例，LPCVD 在 620℃下可实现 50nm/min 的生长速率，且整片晶圆厚度误差＜2%，较常压 CVD 提升 30%。这种技术特性使其在成熟制程中广泛用于栅极多晶硅、互连层介质等薄膜制备，单台设备年产能可达 50 万片以上，单位晶圆成本较 ALD 低 40%。
在 IGBT（绝缘栅双极型晶体管）制造中，LPCVD 用于沉积厚膜氮化硅（＞1μm）作为钝化层，通过优化氨气流量（200-500sccm）与沉积时间（＞30 分钟），可将薄膜应力控制在 ±50MPa 以内，抗开裂能力提升 50%。2023 年全球 IGBT 市场规模达 84 亿美元，其中 80% 的厂商采用 LPCVD 工艺，国产厂商士兰微、华微电子的 LPCVD 产线良率已稳定在 97% 以上。
在 MEMS 加速度计制造中，LPCVD 沉积的多晶硅结构层厚度均匀性误差＜1.5%，刻蚀后线宽偏差＜0.2μm，满足微米级结构的精度需求。某国产厂商的 LPCVD 设备通过引入 “气流脉冲调制” 技术，将 MEMS 薄膜的制备周期从传统工艺的 4 小时缩短至 2.5 小时，成本降低 35%，已被歌尔股份、敏芯股份用于消费电子传感器量产。
厦门毅睿科技-芯壹方 高温炉、快速升温炉、PECVD、太阳能电池测试仪器
尽管应用材料、泛林集团仍主导全球市场，但国产厂商已实现 28nm 制程全覆盖。2023 年某国产厂商的 LPCVD 设备在中芯国际 14nm 产线验证通过，多晶硅薄膜的氧含量控制在＜1×10^18 atoms/cm³，电阻率波动＜3%，性价比较进口设备高 25%。在功率半导体领域，国产 LPCVD 设备的市场占有率已从 2020 年的 12% 提升至 2023 年的 28%，成为士兰微、比亚迪半导体的主力设备。
厦门毅睿科技-芯壹方LPCVD
结语：在先进制程吸引目光的同时，LPCVD 设备用 “成熟工艺的极致优化” 支撑着全球 80% 以上的芯片量产。对于中国半导体产业而言，这种 “性价比之王” 不仅是稳定供应链的压舱石，更是在功率器件、MEMS 等细分领域实现突破的关键装备。
#低压 CVD #多晶硅沉积设备 #氮化硅沉积设备 #功率半导体制造 #MEMS 薄膜沉积
返回上一级
微信客服
全国服务热线
18064427555
返回
