从沙子到芯片的制造过程是一个极其复杂且技术密集的产业链,涉及多个高精尖领域。以下是分步骤的简要说明,帮助理解这一过程的核心环节:
1. 从沙子到高纯度硅(硅提纯)
原料:沙子主要成分是二氧化硅(SiO₂),需提取硅元素。
碳热还原:在电弧炉中加热二氧化硅和碳(焦炭),还原得到冶金级硅(纯度约98%)。
化学提纯:通过西门子法(SiHCl₃+H₂)或流化床法,将硅转化为多晶硅(纯度达99.9999999%,即电子级硅)。
2. 制备单晶硅锭(晶体生长)
直拉法(CZ法):将多晶硅熔化,用籽晶缓慢旋转提拉,形成圆柱形单晶硅锭(直径可达300mm)。
区熔法(FZ法):用于更高纯度需求(如功率器件)。
图片来源:厦门毅睿科技有限公司(自动传输共溅镀系统设备)
3. 硅片加工
切割:用金刚石线锯将硅锭切成薄片(厚度约0.1-0.7mm),形成“晶圆”(Wafer)。
抛光与清洗:通过化学机械抛光(CMP)使表面纳米级平整,去除杂质。
4. 光刻(芯片图形转移)
涂胶:在晶圆上旋涂光刻胶(对紫外光敏感的光阻材料)。
曝光:用光刻机(如EUV极紫外光刻)透过掩膜版(Mask)照射,将电路图案转移到光刻胶上。
显影:溶解被曝光(或未曝光)部分,形成三维电路图案。
5. 刻蚀与离子注入
刻蚀:用干法(等离子体)或湿法(化学溶液)去除未被光刻胶保护的硅层,形成物理结构。
离子注入:将硼、磷等杂质离子注入硅中,改变导电性(形成晶体管源/漏极等)。
6. 薄膜沉积与互连
沉积:通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)添加绝缘层(如SiO₂)或金属层(如铜)。
镀铜与抛光:电镀铜填充沟槽,再用CMP抛光形成互连线(多层堆叠可达10-15层)。
7. 测试与封装
晶圆测试:用探针台检测每个芯片的电性能,标记不良品。
切割与封装:将晶圆切割成单个芯片,封装到保护壳内(引线键合、倒装焊等),并连接外部引脚。
8. 最终测试
进行功能、功耗、温度等测试,确保芯片符合设计规格。
9.关键技术与设备
光刻机:ASML得EUV光刻机是7nm以下工艺的核心,单台成本超1亿美元。
洁净室:芯片生产需在无尘环境(每立方米微粒少于10颗)中进行。
材料:高纯化学品(超纯水、特种气体)、光刻胶等。
图片来源:厦门毅睿科技有限公司电子束系统
10.补充说明
时间与成本:从沙子到芯片需数月,建一座晶圆厂投资可达百亿美元(如台积电3nm工厂)。
设计前置:实际制造前需完成芯片设计(EDA软件)、验证和流片(试生产)。
这一过程体现了人类工业技术的巅峰,涉及化学、物理、材料科学和精密工程的极限协作。目前全球仅有少数企业(如台积电、三星、英特尔)能完成全流程先进制程生产。
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