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超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统

真空镀膜系统

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产品概述

产品特点

技术参数

Description:

UHV 多腔体:Ion Sources,Thermal/E-Beam Evaporator, Sputter .E-Beam... etc.,

基板:多片/单片Max 8 Inch, 5 x 5 cm,10 x10cm或其他尺寸

单片，多片承载装置Cassettes,可程式自动选择及传输

真空度:UHV 10-9Torr

自动传输，自动制程设定...etc.,

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超高真空多腔体自动传输蒸镀/溅镀系统

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