微型共溅镀系统
真空镀膜系统
产品概述
产品特点
技术参数

Description:

●尺寸:600(W)x1015(D) x1435(H)

●可实现<+/-3%的均匀沉积

●极限压力:≤5X10-7Torr

●阴极尺寸:2”x3



微型共溅镀系统 内部(1).png


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