溅镀系统
真空镀膜系统
产品概述
产品特点
技术参数

Description:

●专为研发和试运行而设计

多功能性、操作简便性和长期可靠性,用于单层和多层溅射

可实现<+/-3%的均匀沉积

溅射枪具有可变可变伸缩(阴极到基底的离)的溅射枪和灵活的接头,实现可变入射角

配备 APC,可快速准确地实时控制溅射压力



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