Description:
基板尺寸:6”Wafer或其他尺寸
溅镀源:13.56 MHz RF & Bias
基板加温:Max 350℃
气体:SiH4，NH3，N2O，Ar，N2，CF4，O2 .
自动压力控制器
用途:SiO2,SiXNX ... etc.,
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