芯壹方大尺寸（300*400mm2）热原子层沉积系统
1. 全国最大尺寸研究型热原子层沉积设备
2. 专门为钙钛矿电池的电子及空穴传输层设计
3. 可在FTO玻璃上沉积均匀SnO2，NiO薄膜
4. 独特的分期盘结构以及快速真空泵设计
5. 配备O3管路，为低温NiO沉积提供思路
6. 大尺寸钙钛矿电池验证；与单晶硅串接电池研究，最好用最便宜的ALD机型
微信客服
全国服务热线
13774692374
返回
