产品功能:共聚焦在光学系统上搭载共聚焦光学系统，带有纵高方向扫描的显微镜。可以非接触，非破坏的对样品表面的微观形貌进行观察测量。
Lasertec在1985年推出全球第一款工业用彩色激光共聚焦显微镜以来，超过2500台以上的应用业绩。OPTELCSHYBRID+具有业界高水准的测量精度，测量速度，同时非标定制的解决方案可以为客户提供研发型，产线型多元化定制。
主要规格规格:
1.帧率:15Hz-120Hz
2.水平方向重复性(3σ):10nm
3.水平方向准确度:±[0.02x(100/物镜放大倍数)+L/1000]μm
4高度方向刻度分辨率:0.05nm
5.高度方向重复性(1σ):10nm
6.高度方向准确度:±(0.11+L/100)μm
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