Description:
多腔体:Thermal Evaporator,基板/图形/封装更换腔体,Glove Box ... etc.,
基板:5x5 cm,10 x10 cm Glass 或其他尺寸
基本,遮板,图案(Mask),蒸镀源可程式自动选择及切换
蒸镀源:多组Thermal Boats, K-Cells ... etc.,
多组膜厚计.独立控制自动镀膜.
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