源瓶结构与规格
⚫ 采用 316L 不锈钢高纯级材料
⚫ 公称容积 150 mL，其他规格可定制
⚫ 配置 Swagelok 6LV-DSBW6 手动隔膜阀，确保高纯气体密封可靠性
焊接工艺特点
◼ 采用轨道 TIG 内焊接，全贯穿对接结构，瓶内无缝隙，避免源材料附着残留
◼ 内外双向充氩保护，焊缝氧含量受控
◼ 焊后酸洗去色+半导体 EP 级电解抛光，内壁Ra ≤ 0.25 µm，保证源蒸汽出气量稳定
◼ 焊缝小台阶过渡设计，降低颗粒生成
洁净与检测
▲ 内表面电解抛光+超声纯水清洗+真空烘干
▲ 通过氦检（< 1×10⁻⁹ atm·cc/s）验证密封可靠性
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