涂布尺寸 | Max.L180mm*W180mm（标配） |
基板尺寸 | L220mm*W200mm |
真空基板： | 带真空铝平板 |
涂膜速度 | 涂布头移动速度 0.5-20mm/s， |
厚度尺寸精度 | ±1μm |
基材厚度 | Max：5mm |
涂布行程 | 180mm左右，行程在触摸屏内无级设置调节 |
涂覆驱动 | 涂覆速度在触摸屏内无级设置调节 |
电源 | 220VAC0.5KW |
传感器 | 松下高精度激光位移传感器 |
电机传动 | 采用松下带制动高精度伺服电机 |
设备重量 | 约85Kg |
设备尺寸 | 500mm(L)*400mm(W)*410mm(H). |
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