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国家放大招!固态电池中试网络全面铺开,涉及这四大关键材料!
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光伏领域:薄膜沉积设备的新赛道
光伏电池技术的快速迭代,推动薄膜沉积设备在钙钛矿、HJT 等新型电池中广泛应用。这类设备通过精准沉积透明导电氧化物(TCO)和钝化层,提升电池效率和稳定性。一、钙钛矿电池的真空蒸镀技术···...
先进封装:薄膜沉积设备的新蓝海
随着 Chiplet 技术的兴起,先进封装(如 CoWoS、Fan-Out)成为半导体产业的新增长极。薄膜沉积设备在再分布层(RDL)、微凸块(Microbump)和钝化层制备中发挥着关键作用。厦门毅睿科技-芯壹···...
第三代半导体:薄膜沉积设备的新战场
碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等第三代半导体材料的崛起,正推动薄膜沉积设备技术迎来新变革。这类材料在高温、高压场景下的优异性能,对沉积工艺提出了更高要求。SiC 衬底的外延生长需在 1···...
等离子体增强 CVD:介电薄膜的低温魔法师
在 28nm 以下制程中,芯片晶体管密度提升带来的电容效应使低 k 介质薄膜成为关键。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备通过低温工艺实现介电薄膜的精准制备,成为先进制程的核心装备。PE···...
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